Mach mal folgendes:
1. öffne den Ordner "Temp" (Bei Vista/7: "C:\Users\[Benutzer]\AppData\Local\Temp)
2. den Inhalt löschen
3. Setup noch einmal starten
Alternativ kannst du es auch so machen:
1.
[Only registered and activated users can see links. Click Here To Register...] downloaden & installieren
2. CCleaner ausführen
3. Setup starten
Du musst aber darauf achten, dass bei CCleaner "Temporäre Dateien" ausgewählt ist